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最后,采用室温键合技术,将带有微纳结构的基片与盖片封合成玻璃微-纳流控复合芯片。
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As substrate temperature rises, islands coalesce and grow into larger ones on the surface.
AFM分析表明,薄膜为岛状生长,随温度升高,表面生长岛尺寸增大,岛密度变小。
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发现适当降低聚焦加热灯强度、提高衬底加热温度可以降低固化前沿温度梯度,从而降低亚晶界等缺陷密度。
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当衬底温度较高时(>573K),溅射不再发生,熔滴的扁平粒子呈现规则的圆盘状;
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The methane concentration and the substrate temperature were studied.
着重研究了甲烷浓度、基体温度等工艺参数对热丝CVD法金刚石薄膜显微结构与性能的影响。
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The temperature difference between the thermal conductor and the glass substrate was also studied.
此外对石墨导热体和置于其上的玻璃基片两者之间的温度差别做了初步研究。
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As substrate temperature continuing rising, sp~ 3 bond proportion gradually decrease.
随着基底温度的继续增加,sp~3键含量逐渐下降。
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在可见光区域薄膜透射率和反射率随着基板温度的提高均有所下降。
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The effect of substrate temperature on the accumulation of disorder is substantial.
衬底温度对于无序区积累的影响是很显著的.
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通过改变沉积温度、反应气体比、沉淀时间等因素,系统研究了这些沉积工艺参数对Si3N4膜绝缘耐压性能的影响。
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Ts较低时(750&820℃),PETEOS氧化硅区域成核密度远小于裸露硅表面;
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通过XRD、SEM和Hall等测试手段研究了衬底温度和靶材中Na含量对ZnO薄膜性能的影响。
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溅射过程中,首先制备纯二氧化铈靶材,然后在不同的功率上调节不同的基片温度进行溅射。
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本文讨论了铂薄膜温度传感器的设计、制造工艺、膜料与衬底及封装材料的关系。
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单晶MgO在耐温性、透光率、热导率、电绝缘性、化学稳定性和机械强度等方面性能优异,被广泛用作高温超导等薄膜生长的基片材料,同时也是一种重要的光学材料。
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Finally HALL doping test on the material and substrate temperature were optimized.
最后用3ALL测试对材料的掺杂和衬底温度进行了优化。
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结果表明,采用HWP CVD技术能在低衬底温度条件下以较高的沉积速率制备低H含量的SiN薄膜,所沉积的薄膜主要表现为Si&N键合结构。
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实验结果表明,衬底温度、反应气压及射频功率对金刚石膜的结晶习性、表面粗糙度及光透过率均有很大程度的影响,其最佳值分别为700℃,2×133Pa和200W。
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涂层与基体表面的温度差会使涂层产生收缩应力,引起涂层开裂和剥落。
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应用直流磁控溅射方法,在500℃的衬底温度、纯氮气的溅射气体、800w溅射功率的条件下制备出(002)择优取向的TiN薄膜。
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Effect of the Substrate Temperature on the Formation of SOI Materials by O Ion Implantation
基片温度对氧离子注入硅形成SOI材料的影响
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在Corning1737玻璃衬底上射频磁控溅射沉积了铝掺杂ZnO薄膜(ZnO∶Al).薄膜沉积在衬底温度250℃、溅射功率100W和纯氩气氛中进行。
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对应更高的衬底温度,因薄膜中的氢不能完全中止纳米晶粒界面的悬键,使薄膜能带带尾加宽。
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In addition, the optical loss increases with substrate temperature rising.
此外,随着基板温度的提高,损耗也会有所增加。
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ZnO薄膜的光电学性质强烈依赖于其制备的工艺条件,如:基片温度、氧分压以及退火处理等。
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用丝网印刷-烧结工艺,在高铝陶瓷基板上制得了厚约20~30μm,零电阻温度82K的厚膜超导电带。
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从不同基片温度的超晶格薄膜的AFM分析表明,在基片温度为380℃到470℃的温度范围内,薄膜具有原子级光滑表面。
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用带特殊热(冷)阱的可控制基片温度的电阻加热式真空蒸镀薄膜装置,把吸收透明导电薄膜Au和In2O3分别通过热蒸镀和活化反应淀积在玻璃基片上。
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